DE3586019D1 - Verfahren zum herstellen eines elektrostriktiven elementes. - Google Patents

Verfahren zum herstellen eines elektrostriktiven elementes.

Info

Publication number
DE3586019D1
DE3586019D1 DE8585304723T DE3586019T DE3586019D1 DE 3586019 D1 DE3586019 D1 DE 3586019D1 DE 8585304723 T DE8585304723 T DE 8585304723T DE 3586019 T DE3586019 T DE 3586019T DE 3586019 D1 DE3586019 D1 DE 3586019D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
producing
electrostrictive element
electrostrictive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE8585304723T
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Kazuaki Utsumi
Masanori Suzuki
Atsushi Ochi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE3586019D1 publication Critical patent/DE3586019D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
DE8585304723T 1984-07-02 1985-07-02 Verfahren zum herstellen eines elektrostriktiven elementes. Expired - Lifetime DE3586019D1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13676384A JPS6127688A (ja) 1984-07-02 1984-07-02 電歪効果素子およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3586019D1 true DE3586019D1 (de) 1992-06-17

Family

ID=15182933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8585304723T Expired - Lifetime DE3586019D1 (de) 1984-07-02 1985-07-02 Verfahren zum herstellen eines elektrostriktiven elementes.

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0167392B1 (en])
JP (1) JPS6127688A (en])
DE (1) DE3586019D1 (en])

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63128778A (ja) * 1986-11-19 1988-06-01 Nec Corp 電歪効果素子
JPH02137281A (ja) * 1988-11-17 1990-05-25 Nec Corp 電歪効果素子
US5163209A (en) * 1989-04-26 1992-11-17 Hitachi, Ltd. Method of manufacturing a stack-type piezoelectric element
DE69024863T2 (de) * 1989-07-05 1996-09-05 Mitsui Toatsu Chemicals Mehrschichtiges Keramik-Element und Methode zu dessen Herstellung
US5173162A (en) * 1989-07-05 1992-12-22 Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. Multi-layered electrostrictive effect element
FI893874A7 (fi) * 1989-08-17 1991-02-18 Vaisala Oy Kontaktfoersedd givare med skiktstruktur samt foerfarande foer utfoerande av kontakteringen.
JPH08252920A (ja) * 1995-03-16 1996-10-01 Brother Ind Ltd 積層型圧電素子の製造方法
US6411012B2 (en) * 1999-12-08 2002-06-25 Tdk Corporation Multilayer piezoelectric element and method of producing the same
JP3614383B2 (ja) 2001-07-30 2005-01-26 川崎重工業株式会社 ロボット
JP2008047676A (ja) * 2006-08-15 2008-02-28 Fujifilm Corp 積層型圧電素子
DE102011090156A1 (de) 2011-12-30 2013-07-04 Continental Automotive Gmbh Piezostack mit Passivierung und Verfahren zur Passivierung eines Piezostacks
DE102012105318A1 (de) * 2012-06-19 2013-12-19 Epcos Ag Verfahren zur Herstellung eines keramischen Bauelements und ein keramisches Bauelement
KR102099790B1 (ko) 2014-07-28 2020-04-10 이종희 압전 펌프
KR102151025B1 (ko) 2014-07-28 2020-09-02 이종희 압전 펌프를 이용한 펌핑 방법
KR102151030B1 (ko) 2014-07-28 2020-09-02 이종희 압전 펌프를 이용한 맥동억제 펌핑 방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0094078B1 (en) * 1982-05-11 1988-11-02 Nec Corporation Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses
DE3373594D1 (en) * 1982-12-22 1987-10-15 Nec Corp Method of producing electrostrictive effect element

Also Published As

Publication number Publication date
EP0167392B1 (en) 1992-05-13
JPH0256830B2 (en]) 1990-12-03
EP0167392A2 (en) 1986-01-08
EP0167392A3 (en) 1988-12-28
JPS6127688A (ja) 1986-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3685970D1 (de) Verfahren zum herstellen eines halbleiterbauelements.
DE3881860D1 (de) Verfahren zum herstellen von profilelementen.
DE3686600D1 (de) Verfahren zum herstellen einer harzumhuellten halbleiteranordnung.
DE3483579D1 (de) Verfahren zum herstellen einer leiterbahn.
DE3587231D1 (de) Verfahren zum herstellen einer dmos-halbleiteranordnung.
DE3381509D1 (de) Verfahren zum herstellen von halbleiteranordnungen.
DE3584757D1 (de) Verfahren zum herstellen einer zwei-wannen-cmos-halbleiterstruktur.
DE3586732D1 (de) Verfahren zum herstellen einer dreidimentionaler halbleiteranordung.
DE3675080D1 (de) Verfahren zum herstellen von graphitfolien.
DE68908326D1 (de) Verfahren zum herstellen elektrochromer vorrichtungen.
DE3784836D1 (de) Verfahren zum herstellen von schichtstoffteilen.
DE3776450D1 (de) Verfahren zum herstellen eines luftschall absorbierenden bauelements.
DE3784516D1 (de) Verfahren zum herstellen von formteilen.
DE3679758D1 (de) Verfahren zum herstellen eines supraleitenden hohlraumes.
DE3777786D1 (de) Verfahren zum herstellen von bauart-modellen.
DE3382563D1 (de) Verfahren zum unterscheiden zwischen komplexen zeichenvorraeten.
DE3483258D1 (de) Verfahren zum herstellen von polster-artikeln.
DE3671583D1 (de) Verfahren zum herstellen eines halbleiter-speicherbauelementes.
DE3576829D1 (de) Verfahren zum herstellen kornorientierter bleche aus siliziumstahl.
DE3586019D1 (de) Verfahren zum herstellen eines elektrostriktiven elementes.
DE3580192D1 (de) Verfahren zum herstellen eines kontaktes fuer eine halbleiteranordnung.
DE3579770D1 (de) Verfahren zum herstellen eines eines verstaerkungsbauteils.
DE3481371D1 (de) Verfahren zum herstellen kornorientierter silizium-stahlbleche.
DE3577781D1 (de) Ein festwertspeicher und ein verfahren zum herstellen desselben.
DE3668607D1 (de) Verfahren zum herstellen von sialonpulvern.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition